ウェーハ検査装置用のセラミック部品

当社は、光学系部品（ランプカバー・プラズマチューブ・光源モジュール）、ウェーハ処理システム（ESCチャック・多孔質チャック・ステッピングチャック）、熱管理部品（放熱プレート）、精密ステージ（ウェーハステージ・作業台・フォトマスク基板）、特殊機能部品（絶縁体）など、半導体製造プロセス向けの総合セラミックスソリューションを提供します。