真空チャック

真空チャック

  • 製品の説明

    真空チャックは多孔質セラミック、酸化アルミニウム、炭化ケイ素から製造され、高い熱伝導性、絶縁性、耐腐食性、低熱膨張率を備えています。半導体ウエハ製造に広く使用され、均等にウエハを吸着し、静電気損傷を防ぎ、清掃とメンテナンスが容易です。

  • 材料特性

    高温耐性
    耐摩耗性
    耐腐食性
    耐プラズマ侵食性
    高強度
    高硬度

技術サポート

お客様の用途に応じて製品をカスタマイズします。

お客様のニーズに合わせて製品設計の改善、性能向上・コスト削減のご提案をします。

製品アプリケーションのアフターサービス体制の充実。

    Alumina Silicon Carbide
Item (JFM) Unit JC-AZ025A JC-A995A JC-A990A JC-A995A JC-A997A JC-A997B JC-A999A JC-SC101
Physical Property  
Content % - 95.0% 99.0% 99.5% 99.7% 99.7% 99.9% -
Colour   Milky White White White Milky White Milky White Milky White White Black
Density g/cm3 4.4 3.7 3.8 3.9 3.92 3.94 3.95 3.15
Mechanical Behavior  
Vickers Hardness GPa 15 13.7 15.2 16.0 17.2 17.2 17.5 23
Bending Strength Mpa 650 350 310 360 380 380 400 500
Compressive Strength Mpa - - 2160 2350 2380 2400 2560 3900
Young's Modulus GPa 320 320 360 370 380 380 380 420
Poisson's Ratio / 0.25 0.23 0.23 0.23 0.23 0.23 0.23 0.17
Fracture Toughness Mpa.m1/2 5 3-4 3-4 4 4.8 5 5.4 3.2
Thermal Propert  
Coefficient of Thermal Expansion 10-6/°C 9 7.2 7.2 7.2 7.2 7.2 7.2 4.3
Thermal Conductivity W/(m.K) 19 24 29 32 32 32 34 160
Specific Heat Capacity J/(g.K) - 0.78 0.79 0.78 0.79 0.79 0.78 0.67
Maximum Operating Temperature °C 1600 1500 1600 1600 1600 1600 1600 1600
Electrical Property  
Dielectric Strength kv/mm - 15 15 15 15 15 15 -
Dielectric Constant 1MHz  - - 9.4 9.9 9.9 9.9 9.9 9.9 -
Dielectric Losses 1MHz X10-4 - 4 2 1 1 1 1 -
Volume Resistivity 20 Ω.cm >1012 >1014 >1014 >1014 >1014 >1014 >1014 108
Volume Resistivity 300 Ω.cm - 1010 1010 1013 1013 1013 1013 -

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

  • 密度
  • 曲げ強度
  • 圧縮強度
  • ヤング率
  • 破壊靭性
  • 熱膨張係数
  • 熱伝導率
  • 比熱容
  • 最高使用温度
  • 誘電率(1MHz)

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

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