イオン注入装置用のセラミック材料部品

JFMは先進イオン注入装置向けに、高密度アルミナおよび反応焼結窒化ケイ素製の高性能セラミックコアコンポーネントを提供します。ベアリングレール、真空チャック、熱膨張マッチング型注入ターゲットホルダー、多層複合絶縁体などのカスタム加工に対応し、独自の材料配合と精密加工技術により、イオン注入プロセスにおける粒子汚染、熱変形、電荷蓄積といった課題を解決。過酷な条件下でも安定した性能とプロセス精度を保証します。

空気ベアリング部品

お客様のニーズに応じて、ベアリングハウジング、ベアリングスリーブ、ボールなどのセラミック材料を用いた空気ベアリング部品をカスタム製造できます。空気ベアリングは、圧縮空気を利用して、ベアリングとシャフトの間に空気膜を形成し、シャフトがほぼ摩擦なく回転または移動できるようにします。セラミック材料で作られた空気ベアリング部品は、高精度、低摩擦、高温耐性、耐腐食性を提供し、機器の効率と寿命を維持します。

絶縁リング

セラミック絶縁リングは、イオン注入装置の中で別の重要なセラミック部品です。その主な役割は、イオン注入プロセス中に電気絶縁を提供し、電流漏れや電気的干渉を防ぐことです。絶縁リングは通常、イオン注入装置の電極間に取り付けられ、電気的絶縁の役割を果たします。寸法や形状は機器の具体的な要求に応じて定められ、円形、環形、またはその他の形状になることがあります。