セラミック部品の従来の拡散および他の半導体用途

当社は拡散・熱処理工程などに使用される高純度セラミックス部品を製造しています。耐熱性、耐食性、長寿命などの特長を備え、半導体製造の厳しい要求に対応可能です。お客様のニーズに合わせたカスタマイズ製品もご提供します。

関連するセラミック部品：

• · ライナーおよびプロセスパイプ
• · バッフルおよびサポート
• · ウェーハボートおよびベース
• · ノズル》
• · ブレード

関連材料：

• · 高純度酸化アルミニウムセラミック》
• · 炭化ケイ素セラミック》
• · 窒化ケイ素セラミック》
• · 石英